离子显微镜是使用离子对样品成像的显微镜的统称，并且具有多种类型。

场离子显微镜

场离子显微镜（离子显微镜英文名：场离子显微镜;FIM）投影显微镜，可以在实空间观察尖锐试样顶端的实时性。?一种使用氦，氖等离子代替电子显微镜的电子来获取放大图像的设备。与传统显微镜不同，FIM是一种具有原子级分辨率和数百万倍放大率的投影显微镜，其空间分辨率受到用于成像的粒子波长的限制。但在，原子可以观察到，存在在世界上xxx个原子的观察一个成功的历史。1951年的美国宾夕法尼亚州立大学的EW穆勒已经设计。

电解抛光由（直径尖端100?300埃的）针状成形铂和钼，钨的难熔金属，如样品的氦在大气低温字段，并冷却至（20-100K），电场集中在样品的尖峰处，因此与之接触的氦原子被电离，并且氦离子沿电力线投射在屏幕（微通道板）上，从而产生亮点结果，样品表面上原子的不规则性被放大并投影。

扫描离子传导显微镜

扫描离子传导显微镜是一种扫描探针显微镜，通过应用扫描隧道显微镜（STM）的原理可视化样品表面的形状以及诸如电解质等离子流的二维分布信息。

氦离子显微镜

氦原子由照射样品以可视化的细节的结构。精细加工也是可能的。

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